在研磨拋光工藝中有很超精密的研磨拋光工藝，下面小編簡單的介紹兩個拋光研磨工藝，分別是液面研磨拋光各水合拋光。
1.液面研磨拋光其原理是：研拋時工件與拋光盤之間流體壓力會形成間隙，利用其化學反應所具有的腐蝕性的液體運動來進行研拋，其研磨方法的特點就是：不用使用磨料，這同時也是一種化學腐蝕加工方法。如果其中的腐蝕液成分是以甲醇、乙三醇與溴為主的混合液，可以用來加工基片表面。
2.水合研磨拋光其原理是：兩個物體產生相對摩擦，在接觸區產生的高溫高壓使工件表面上的分子與原子呈現活性化，現利用過熱的水蒸汽分子與水作用其表面，從而在基面形成水合化層。利用工件臨界面上生成水合反應，工件表面借助過熱的水蒸汽將其表面的水合化層分離，去除，一般去除厚度量為零點幾個納米；從而獲得無劃痕，平滑光澤且無變形的潔凈面。其最大的特點是：不使用磨料和加工液，而使用的加工裝置與目前的陶瓷拋光機使用的相似，只是其加工裝置一般是用于噴液，而它則是水蒸汽裝置；水合研磨拋光一般都在水蒸汽環境中進行。適合加工一些光學元件的超精密加工。
